然後劉海就來到了烽火科技公司。
“謝謝老闆。”倪南看到劉海先道謝,劉海來的是辦公的地方,實驗室在另外的地方,當然劉海是從地下停車場上來的。
“算起來是我賺了,畢竟你們都在給我工作。”劉海呵呵一笑。
“老闆,龍芯三代晶片測試順利進行。”
“很不錯。”劉海點點頭。
“光刻機掩模方向研究怎麼樣?”劉海問的光刻機掩模技術,是在光刻機發展里程碑上重要的技術這項技術歷史上1990年被荷蘭的阿斯麥運用。
光刻機掩膜版上承載有設計圖形,光線透過它,把設計圖形透射在光刻膠上。
在投影式光刻機中,掩膜版作為一個光學元件位於會聚透鏡與投影透鏡之間,並不和晶圓有直接接觸。
掩膜上的圖形縮小4~10倍後透射在晶圓表面。這個過程類似於傳統照相機的底片功能,透過曝光工藝將圖形從掩膜版轉移到基底上。
“正在組織人力物力進行對這項技術進行公關,因為其中涉及到的東西比較多。”倪南聽到劉海問這技術就開口回答。
“光刻機的折射率問題,我覺得可以透過液體解決,比如水,這也是一個研究方向。”劉海說的光刻機折射率的問題也正是在後面,荷蘭阿斯麥戰勝小本子的關鍵技術。
在90年代中期光刻機的巨頭並不是阿斯麥,而是尼康與佳能,就因為阿斯麥先一步解決了鐳射折射率的問題,也就提前了半年時間。
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